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合同签定后7日内，发包方支付给承包方至合同总价款的30%。承包方进场并开始洁净室安装后7日内,发包方支付给承包方至合同总价款的50%。承包方在完成洁净室部分的二次钢构及FFU网架的吊装后7日内，发包方支付给承包方至合同总价款的70%。业主工艺设备开始搬入后7日内，发包方支付给承包方至合同总价款的85%。待工程竣工验收完成后，发包方支付给承包方至竣工结算总价款的95%。留竣工结算总价款5%作为质保金。待质保期(1 2个月)期满后30日历天内支付，